corrosionprotectionПрактика противокоррозионной защитыTheory and Practice of Corrosion Protection1998-57382658-6797Association "CARTEC"10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3corrosionprotection-92Research ArticleМАТЕРИАЛЫ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОТИВОКОРРОЗИОННОЙ ЗАЩИТЫMATERIALS AND EQUIPMENT FOR CORROSION PROTECTIONТехнологический цикл механической обработки подложек чипов кремний на сапфиреTechnological cycle of mechanical processing of silicon-on-sapphire chip substratesКалиниченкоА. С.KalinichenkoA. S.

Калиниченко Александр Сергеевич, д.т.н., директор Центра, 

220006, г. Минск, ул. Свердлова, д. 13а.

 

Alexander S. Kalinichenko, Doctor of Technical Sciences, Director of the Center, 

12, Academic str., 220072, Minsk.

akalinich@belstu.byТычинскаяИ. Д.TychinskayaI. D.

Тычинская Ирина Дмитриевна, н.с.,

220072, г. Минск, ул. Академическая, д. 12.

Irina D. Tychinskaya, Researcher,

12, Academic str., 220072, Minsk.

БасинюкВ. Л.BasinyukV. L.

Басинюк Владимир Леонидович, д.т.н., профессор, директор Центра,

220072, г. Минск, ул. Академическая, д. 12.

Vladimir L. Basinyuk, Doctor of Technical Sciences, Professor, Director of the Center,

12, Academic str., 220072, Minsk.

УО «Белорусский государственный технологический университет»БеларусьBelarusian State Technological UniversityBelarusГНУ «Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси»БеларусьJoint Institute of Mechanical Engineering of National Academy of Sciences of BelarusBelarus2023031020232832733Copyright © Калиниченко А.С., Тычинская И.Д., Басинюк В.Л., 20232023Калиниченко А.С., Тычинская И.Д., Басинюк В.Л.Kalinichenko A.S., Tychinskaya I.D., Basinyuk V.L.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.corrosion-protection.ru/jour/article/view/92

В статье приведены результаты исследований лезвийной обработки с использованием современных модификаций кубического нитрида бора (КНБ) подложек тонких пластин из сапфира, используемых для изготовления микросхем типа «кремний на сапфире» (КНС). Эти микросхемы ориентированы на применение, вследствие повышенных быстродействия и устойчивости к радиоактивному воздействию, в космической и специальной технике. При правильном выборе геометрии режущего инструмента, параметров оснастки и режимов резания такая обработка может быть осуществлена и позволяет получить шероховатость на уровне 20…30 нм.

The article presents the results of studies of blade processing using modern modifications of cubic boron nitride (CBN) substrates of thin plates made of sapphire used for the manufacture of “Silicon-on-Sapphire” microcircuits (SOS). These microcircuits are focused on application in space and special equipment due to increased speed and resistance to radioactive exposure. With the right choice of cutting tool geometry, tooling parameters and cutting modes, such processing can be carried out and allows you to obtain a roughness at the level of 20…30 nm.

КНБКНСлезвийная обработкамикроэлектроникасапфиростаточные напряженияKBNSOSblade processingmicroelectronicssapphireresidual stressesReferencesМикросхемы для космоса. [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://academcity.org/content/mikroshemy-dlya-kosmosa (дата обращения 03.03.2023).Microcircuits for space. [Electronic resource]: site. – URL: https://academcity.org/content/mikroshemy-dlya-kosmosa (Accessed 03.03.2023).Перспективы и тенденции развития микроэлектроники [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://studopedia.org/12-3700.html (дата обращения 03.03.2023).Prospects and trends in the development of microelectronics [Electronic resource]: site. — URL: https://studopedia.org/12-3700.html (accessed 03.03.2023).Российская микроэлектроника для космоса [Электронный ресурс]: сайт. – URL: http://odnako.su/hi-tech/pc-hardware/-75030-rossiyskaya-mikroelektronika-dlya-kosmosa-kto-i-chto-proizvodit (дата обращения 03.03.2023).Russian microelectronics for space [Electronic resource]: site. – URL: http://odnako.su/hi-tech/pc-hardware/-75030-rossiyskaya-mikroelektronika-dlya-kosmosa-kto-i-chto-proizvodit (accessed 03.03.2023).Особенности получения инструментальных материалов на основе алмаза и кубического нитрида бора [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://studopedia.su/9_5609_osobennosti-polucheniya-instrumentalnih-materialov-na-osnove-almaza-i-kubicheskogo-nitrida-bora.html (дата обращения 03.03.2023).Features of obtaining tool materials based on diamond and cubic boron nitride [Electronic resource]: site. – URL: https://studopedia.su/9_5609_osobennosti-polucheniya-instrumentalnih-materialov-na-osnove-almaza-i-kubicheskogo-nitrida-bora.html (accessed 03.03.2023).Сверхтвердые материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора для лезвийного инструмента [Электронный ресурс]: сайт. – URL : https://studme.org/73733/tehnika/sverhtverdye_materialy_osnove_almaza_kubicheskogo_nitrida_bora_lezviynogo_instrumenta (дата обращения 02.03.2023).Superhard materials based on diamond and cubic boron nitride for blade tools [Electronic resource]: site. – URL: https://studme.org/73733/tehnika/sverhtverdye_materialy_osnove_almaza_kubicheskogo_nitrida_bora_lezviynogo_instrumenta (accessed 03/02/2023).Синани А. Б., Дынкин Н. К., Литвинов Л. А., Коневский П. В., Андреев Е. П. Твердость сапфира в различных кристаллографических направлениях // Известия РАН. Серия Физическая. – 2009.– Т. 73, № 10. – С. 1463-1465.Sinani, A. B., Dynkin, N. K., Litvinov, L. A., Konevsky, P. V., & Andreev, E. P. (2009). Sapphire hardness in different crystallographic directions. Izvestiya RAN. Series Physical, 73(10), 1463-1465.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.