Для цитирования:

Калиниченко А.С., Тычинская И.Д., Басинюк В.Л. Технологический цикл механической обработки подложек чипов кремний на сапфире. Практика противокоррозионной защиты. 2023;28(3):27-33. https://doi.org/10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3

For citation:

Kalinichenko A.S., Tychinskaya I.D., Basinyuk V.L. Technological cycle of mechanical processing of silicon-on-sapphire chip substrates. Theory and Practice of Corrosion Protection. 2023;28(3):27-33. (In Russ.) https://doi.org/10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3