Технологический цикл механической обработки подложек чипов кремний на сапфире
https://doi.org/10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3
Аннотация
В статье приведены результаты исследований лезвийной обработки с использованием современных модификаций кубического нитрида бора (КНБ) подложек тонких пластин из сапфира, используемых для изготовления микросхем типа «кремний на сапфире» (КНС). Эти микросхемы ориентированы на применение, вследствие повышенных быстродействия и устойчивости к радиоактивному воздействию, в космической и специальной технике. При правильном выборе геометрии режущего инструмента, параметров оснастки и режимов резания такая обработка может быть осуществлена и позволяет получить шероховатость на уровне 20…30 нм.
Об авторах
А. С. Калиниченко
УО «Белорусский государственный технологический университет»
Беларусь
Беларусь
Калиниченко Александр Сергеевич, д.т.н., директор Центра,
220006, г. Минск, ул. Свердлова, д. 13а.
И. Д. Тычинская
ГНУ «Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси»
Беларусь
Беларусь
Тычинская Ирина Дмитриевна, н.с.,
220072, г. Минск, ул. Академическая, д. 12.
В. Л. Басинюк
ГНУ «Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси»
Беларусь
Беларусь
Басинюк Владимир Леонидович, д.т.н., профессор, директор Центра,
220072, г. Минск, ул. Академическая, д. 12.
Список литературы
1. Микросхемы для космоса. [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://academcity.org/content/mikroshemy-dlya-kosmosa (дата обращения 03.03.2023).
2. Перспективы и тенденции развития микроэлектроники [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://studopedia.org/12-3700.html (дата обращения 03.03.2023).
3. Российская микроэлектроника для космоса [Электронный ресурс]: сайт. – URL: http://odnako.su/hi-tech/pc-hardware/-75030-rossiyskaya-mikroelektronika-dlya-kosmosa-kto-i-chto-proizvodit (дата обращения 03.03.2023).
4. Особенности получения инструментальных материалов на основе алмаза и кубического нитрида бора [Электронный ресурс]: сайт. – URL: https://studopedia.su/9_5609_osobennosti-polucheniya-instrumentalnih-materialov-na-osnove-almaza-i-kubicheskogo-nitrida-bora.html (дата обращения 03.03.2023).
5. Сверхтвердые материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора для лезвийного инструмента [Электронный ресурс]: сайт. – URL : https://studme.org/73733/tehnika/sverhtverdye_materialy_osnove_almaza_kubicheskogo_nitrida_bora_lezviynogo_instrumenta (дата обращения 02.03.2023).
6. Синани А. Б., Дынкин Н. К., Литвинов Л. А., Коневский П. В., Андреев Е. П. Твердость сапфира в различных кристаллографических направлениях // Известия РАН. Серия Физическая. – 2009.– Т. 73, № 10. – С. 1463-1465.
Рецензия
Для цитирования:
Калиниченко А.С., Тычинская И.Д., Басинюк В.Л. Технологический цикл механической обработки подложек чипов кремний на сапфире. Практика противокоррозионной защиты. 2023;28(3):27-33. https://doi.org/10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3
For citation:
Kalinichenko A.S., Tychinskaya I.D., Basinyuk V.L. Technological cycle of mechanical processing of silicon-on-sapphire chip substrates. Theory and Practice of Corrosion Protection. 2023;28(3):27-33. (In Russ.) https://doi.org/10.31615/j.corros.prot.2023.109.3-3
Просмотров:
107
Послать статью по эл. почте 